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南科大突破性成果:實(shí)現(xiàn)大尺寸超柔性金剛石薄膜的規(guī)?;苽?/h1>
2024-12-25 16:50:58 來(lái)源:南方科技大學(xué)
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簡(jiǎn)介:近期,由南方科技大學(xué)李攜曦助理教授領(lǐng)銜的科研團(tuán)隊(duì),攜手北京大學(xué)東莞光電研究院的王琦研究員、香港大學(xué)的林原教授及褚智勤副教授等國(guó)內(nèi)外知名學(xué)者,在金剛石薄膜材料的制備與應(yīng)用領(lǐng)域取得了重大突破。

近期,由南方科技大學(xué)李攜曦助理教授領(lǐng)銜的科研團(tuán)隊(duì),攜手北京大學(xué)東莞光電研究院的王琦研究員、香港大學(xué)的林原教授及褚智勤副教授等國(guó)內(nèi)外知名學(xué)者,在剛石薄膜材料的制備與應(yīng)用領(lǐng)域取得了重大突破。該研究團(tuán)隊(duì)成功研發(fā)出一種創(chuàng)新方法,能夠高效、穩(wěn)定地制備出大尺寸(直徑達(dá)2英寸晶圓級(jí))、超薄(亞微米級(jí)厚度)、超平整(表面粗糙度低于納米級(jí)別)且具備超柔性(可輕松實(shí)現(xiàn)360°彎曲)的金剛石薄膜,相關(guān)研究成果已在國(guó)際頂級(jí)期刊《Nature》上發(fā)表,題為“大尺寸超平整與超柔性金剛石薄膜的可擴(kuò)展制備”。

南科大突破性成果:實(shí)現(xiàn)大尺寸超柔性金剛石薄膜的規(guī)模化制備

金剛石,以其卓越的物理和化學(xué)性質(zhì),在電子、光子等多個(gè)領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。然而,長(zhǎng)期以來(lái),超薄金剛石薄膜的大規(guī)模生產(chǎn)一直面臨諸多技術(shù)難題,限制了其廣泛應(yīng)用。本研究團(tuán)隊(duì)通過(guò)創(chuàng)新的剝離技術(shù),利用膠帶在特定角度和膜厚度條件下進(jìn)行高效剝離,成功突破了這一技術(shù)瓶頸。所制備的金剛石薄膜不僅具有超平整的表面,便于后續(xù)的微納尺度加工,更因其超柔性特性,為彈性應(yīng)變工程和變形傳感等應(yīng)用提供了全新的可能,這是傳統(tǒng)金剛石薄膜所無(wú)法比擬的。

南科大突破性成果:實(shí)現(xiàn)大尺寸超柔性金剛石薄膜的規(guī)?;苽? width=

研究團(tuán)隊(duì)還通過(guò)系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)和理論研究,深入探討了剝離角度、膜厚度等參數(shù)對(duì)薄膜品質(zhì)的影響,并成功在優(yōu)化的操作參數(shù)范圍內(nèi),穩(wěn)定制備出大面積且完好的金剛石薄膜。這一技術(shù)創(chuàng)新不僅為金剛石薄膜的大規(guī)模生產(chǎn)提供了切實(shí)可行的路徑,更有望推動(dòng)金剛石材料在電子學(xué)、光子學(xué)等領(lǐng)域的商業(yè)化進(jìn)程,為相關(guān)產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展注入新的活力。

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