儀器簡介
利用SPM系統(tǒng),可綜合采用PIXE、PIGE、ERD、RBS等離子束分析方法,實現多種元素成份分析;可測定微區(qū)元素分布。可以用于材料、生物醫(yī)學、環(huán)境、地質樣品的多種微量化學元素成份和微區(qū)結構的無損分析。
性能指標
(1)質子微束空間分辨率1微米
(2)化學元素分析檢出限1ppm
(3)真空度優(yōu)于1*10-4 Pa
(4)探測系統(tǒng)包括真空靶室、前置放大和Si(Li)探測器,電子學系統(tǒng)包括高壓、主放、堆積排除、ADC轉換等,微機多道能譜儀。
測試項目
1、PIXE分析2、RBS分析3、ERD分析4、二維元素分布成像5、(特殊)微束實驗。
樣品要求
不影響系統(tǒng)真空的無腐蝕性、無爆炸性、無劇毒性的粉體或塊體。