LIBSOPA實(shí)現(xiàn)了一維線性掃描、一維深度分析和二維面掃描分析，用統(tǒng)計(jì)解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度、夾雜物分布、表面和內(nèi)部缺陷分析等指標(biāo)。LIBSOPA為材料成分分析 、 缺陷分析 、涂鍍層分析等 提供了新的技術(shù)手段及質(zhì)量判據(jù) 。

儀器特點(diǎn)：

非接觸、微區(qū)、深度分析；兼具原位統(tǒng)計(jì)分布分析功能；分析空間分辨率150-400μm

儀器參數(shù)：

一.激發(fā)光源激光器：燈泵固體激光器輸出波長(zhǎng)：1064 nm脈沖頻率：1~10Hz可調(diào)

二.雙視場(chǎng)成像：全景視場(chǎng)：100mm*100mm微區(qū)視場(chǎng)：8mm*8mm

三.移動(dòng)掃描系統(tǒng)：移動(dòng)分辨率：1μm行程：80mm*80mm

四.剝蝕光斑 ：軟件自動(dòng)調(diào)節(jié)尺寸：150μm ~400μm

五. 分光系統(tǒng)：巴邢—龍格架法，光柵焦距750 mm高發(fā)光全息光柵，刻線為2400條/mm譜線范圍：170~800nm分辨率：優(yōu)于0.01nm惰性氣體密閉樣品倉(cāng)可檢測(cè)短波元素（C,P,S,B）