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> XPS-7 半導(dǎo)體材料氣體多氣體檢測(cè)儀
型 號(hào) |
XPS-7 |
檢測(cè)原理 |
定電位電解式 |
檢測(cè)氣體對(duì)象 |
半導(dǎo)體材料氣體 |
測(cè)量范圍 |
根據(jù)規(guī)格 |
分解 能 |
全量程的百分之一表示 |
指示精度 |
FS±10%以內(nèi) |
報(bào)警模式 |
2段報(bào)警方式 |
報(bào)警方式 |
蜂鳴器(斷續(xù)音)、報(bào)警燈閃爍 |
應(yīng)答時(shí)間 |
60秒以內(nèi)(60%應(yīng)答) |
電 源 |
5號(hào)堿性干電池4節(jié)或AC專用變壓器 |
電池使用時(shí)間 |
連續(xù)12小時(shí)以上(使用堿性干電池?zé)o報(bào)警、20℃時(shí)) |
外型尺寸 |
W62×H150×D128mm(突出部分除外) |
檢測(cè)方式 |
泵吸引式 |
使用溫度范圍 |
0℃~40℃ |
重 量 |
約1.3kg |
附 件 |
肩背皮帶、5號(hào)堿性干電池4節(jié)、過(guò)濾紙2張 |
選購(gòu) 件 |
AC專用變壓器、傳感器專用通電臺(tái)、數(shù)據(jù)收集配套元件 |
對(duì)象氣體一覽表 | ||||||||
型號(hào) |
氣體 |
F.S |
型號(hào) |
氣體 |
F.S |
型號(hào) |
氣體 |
F.S |
XDS-7NH |
NH3 |
100ppm |
XDS-7GH |
GeH4 |
1ppm |
XDS-7HS |
H2S |
50ppm |
XDS-7SH |
SiH4 |
25ppm |
XDS-7CL |
CL2 |
5ppm |
XDS-7CO |
CO |
250ppm |
XDS-7DC |
SiH2CL2 |
25ppm |
XDS-7CF |
CLF3 |
1ppm |
XDS-7DS |
Si2H6 |
25ppm |
XDS-7AH |
AsH3 |
250ppb |
XDS-7HC |
HCL |
25ppm |
XDS-7F2 |
F2 |
5ppm |
XDS-7PH |
PH3 |
1ppm |
XDS-7HF |
HF |
10ppm |
XDS-7OZ |
O3 |
1ppm |
XDS-7BH |
B2H6 |
500ppb |
XDS-7HB |
HBr |
10ppm |
|||
XDS-7SE |
H2Se |
250ppb |
XDS-7NO |
NO |
100ppm |