本發(fā)明公開(kāi)了一種亞微米球形硅粉、制備方法及其用途；屬于無(wú)機(jī)非金屬功能材料技術(shù)領(lǐng)域；其步驟包括：(1)將有機(jī)溶劑、分散劑和表面活性劑加入至反應(yīng)器中，攪拌至均勻，然后緩慢加入水玻璃，繼續(xù)攪拌，再滴加銨鹽溶液，并調(diào)節(jié)體系pH值，得到反應(yīng)液；(2)向所述反應(yīng)液中緩慢滴加酸，繼續(xù)攪拌，攪拌結(jié)束后，靜置，過(guò)濾，得到沉淀物；(3)將所述沉淀物用蒸餾水洗滌、抽濾、干燥，然后將干燥產(chǎn)物置于燃燒爐中進(jìn)行燒結(jié)，得到亞微米球形硅粉；表面活性劑包括聚乙二醇衍生物；聚乙二醇衍生物由1?咖啡?？鼘幩岣男跃垡叶?。制得的亞微米球形硅粉顆粒尺寸均一，且分布均勻，同時(shí)具有較高的球化率、球形度、密度以及較低的粒徑尺寸。