一種C/C復合材料表面SiC涂層的制備方法，包括如下步驟：(1)制備并預處理C/C復合材料坯體；(2)C/C復合材料坯體表面處理：使用激光切削裝置真空環(huán)境下在C/C復合材料坯體的表面形成均勻的槽口，所有的槽口形成網(wǎng)格狀結構；(3)SiC涂層的制備：采用化學氣相沉積法，并以三氯甲基硅烷MTS作為前驅(qū)體以提供沉積反應的硅源和碳源；(4)連續(xù)重復步驟(3)中的沉積過程1?2次，重復之前，清空化學氣相沉積爐中的殘留氣體，更換新的三氯甲基硅烷MTS作為前驅(qū)體以提供沉積反應的硅源和碳源，其余沉積條件不變。本發(fā)明可以有效解決SiC高溫氧化時產(chǎn)生的嚴重氧化甚至剝落、脫離現(xiàn)象及失效現(xiàn)象，利于延長涂層的使用壽命，從而利于提高C/C復合材料的高溫抗氧化性能。