本發(fā)明公開了一種適用于EBSD檢測的金屬基復(fù)合材料試樣的制備方法，屬于檢測試樣制備領(lǐng)域。所述方法采用線切割，機(jī)械拋光，振動(dòng)拋光-離子拋光-振動(dòng)拋光工藝對具有多相結(jié)構(gòu)的金屬基復(fù)合材料進(jìn)行處理，獲得適用于EBSD檢測的金屬基復(fù)合材料試樣。所述試樣同時(shí)滿足高表面平整度、低應(yīng)力值和保留待樣原有表面應(yīng)力分布規(guī)律要求，不僅滿足不同類型金屬基復(fù)合材料的EBSD檢測要求，同樣滿足不同類型多相導(dǎo)電材料進(jìn)行XRD，拉曼光譜等多種檢測的檢測試樣制備要求。