本發(fā)明涉及一種用微波燒結(jié)法制備氮化硅結(jié)合碳化硅復(fù)合材料的方法。其技術(shù)方案是：先將50~80wt%的碳化硅顆粒、5~25wt%的碳化硅粉、5~30wt%的單質(zhì)硅粉、1~4wt%的羧甲基纖維素和1~5wt%的水混合，成型；將成型后的坯體置入真空微波燒結(jié)爐中，先抽真空至所述微波燒結(jié)爐內(nèi)的壓強(qiáng)≤20Pa，再充入氮氣，然后在氮氣氣氛和1300~1600℃條件下燒結(jié)0.5~5小時，即得氮化硅結(jié)合碳化硅復(fù)合材料。本發(fā)明的生產(chǎn)周期短和生產(chǎn)效率高，所制備的氮化硅結(jié)合碳化硅復(fù)合材料物相分布均勻，不僅具有較高的強(qiáng)度，且具有良好的抗熱震性、抗氧化性、高溫抗蠕變性和抗侵蝕性能。