基于非對稱金屬光柵結(jié)構(gòu)的雙頻可調(diào)磁共振人工
復(fù)合材料,其特征在于:選擇石英基片 并將表面拋光,在其表面蒸鍍SiO2膜;在SiO2膜表面蒸鍍鉻膜,在鉻膜上涂覆光刻膠層;采 用電子束光刻方法,在光刻膠上制備介質(zhì)光柵結(jié)構(gòu);采用濕法腐蝕技術(shù),將光刻膠作為掩模, 腐蝕裸露鉻膜;采用干法腐蝕技術(shù),將鉻膜作掩模,在SiO2膜上刻蝕介質(zhì)光柵結(jié)構(gòu),去除鉻 膜;采用側(cè)向真空沉積技術(shù),在SiO2光柵結(jié)構(gòu)一側(cè)側(cè)向沉積厚度h金屬層;同樣在SiO2光柵 結(jié)構(gòu)另一側(cè)沉積相同厚度的金屬層,形成頂部厚度2h,側(cè)壁寬度h的“Π”形金屬結(jié)構(gòu),基于 非對稱金屬光柵結(jié)構(gòu)的雙頻可調(diào)磁共振人工復(fù)合材料制作完成。本發(fā)明具有制作簡便,單 層損耗小,單層正入射以及雙頻的特性,在磁共振、近場光學(xué)、隱身材料等領(lǐng)域具有啟 示的意義以及很大的應(yīng)用前景。
聲明:
“基于非對稱金屬光柵結(jié)構(gòu)的雙頻可調(diào)磁共振人工復(fù)合材料” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)