本發(fā)明涉及一種蒸發(fā)固體原料制備碳化硅納米粒子及其復(fù)合材料的方法，屬于納米材料制備技術(shù)與應(yīng)用領(lǐng)域。其特征是使用自動控制直流電弧等離子體設(shè)備，將固體原料即微米級硅粉和碳粉，按一定比例均勻混合并壓制成塊，將此作為陽極，石墨棒作為陰極，在一定比例的惰性氣體、氫氣的混合氣氛中蒸發(fā)原料，獲得單相碳化硅納米粒子或多相復(fù)合材料。本發(fā)明的優(yōu)點在于制備工藝簡單，成本低廉、可規(guī)模化制備，可以實現(xiàn)產(chǎn)物中相組成及顆粒尺寸和形貌的控制。