本發(fā)明涉及一種超大臥式CVD系統(tǒng)及制備炭/炭
復(fù)合材料的方法,該CVD系統(tǒng)包括臥式爐體和爐門,所述爐體內(nèi)設(shè)有加熱腔、與加熱腔形成下進上出的導(dǎo)氣輸送結(jié)構(gòu),所述加熱腔內(nèi)設(shè)有保溫桶,所述保溫桶內(nèi)設(shè)有坩堝、用于將導(dǎo)氣輸送機構(gòu)輸入的前驅(qū)體氣體沿坩堝內(nèi)外側(cè)分流向上輸送向加熱腔出氣口的分流導(dǎo)氣結(jié)構(gòu)和用于封蓋坩堝頂端開口的阻氣裝置,所述系統(tǒng)還包括過濾裝置、用于將導(dǎo)氣輸送結(jié)構(gòu)導(dǎo)出的尾氣輸送向過濾裝置的尾氣輸送管路。本發(fā)明通過合理的臥式結(jié)構(gòu)設(shè)置,實現(xiàn)了有限高度下超大體積預(yù)制體沉積,同時通過水平分區(qū)控制,優(yōu)化了流場和溫度場,避免了大尺寸爐子沉積容易產(chǎn)生碳化,有效提高產(chǎn)品質(zhì)量均一性。
聲明:
“超大臥式CVD系統(tǒng)及制備炭/炭復(fù)合材料的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)