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碲-氮化硼復(fù)合材料及其制備方法和場效應(yīng)器件

1053   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 16:33:01
本發(fā)明公開了一種碲?氮化硼復(fù)合材料及其制備方法和場效應(yīng)器件,該制備方法包括以下步驟:S1、在基板上制備氮化硼納米管;S2、在所述氮化硼納米管的表面覆上光刻膠,然后采用光刻工藝結(jié)合反應(yīng)離子刻蝕工藝,將所述氮化硼納米管切割成具有兩端開口的段體,去除所述光刻膠;S3、將步驟S2得到的基板浸入45~55℃的氨水中處理,然后置于空氣氛圍中在800~900℃熱處理;S4、將步驟S3得到的基板和碲粉置于真空密閉體系中,在300~500℃加熱。本發(fā)明使用氮化硼納米管作為碲半導(dǎo)體的包覆材料,解決碲納米線材料在常溫空氣條件下工作穩(wěn)定性差的問題,在場效應(yīng)器件中具有更好的應(yīng)用前景。
聲明:
“碲-氮化硼復(fù)合材料及其制備方法和場效應(yīng)器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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