本實用新型涉及氣相沉積爐技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及改進(jìn)式的復(fù)合材料氣相沉積爐結(jié)構(gòu)，包括爐體，所述爐體的內(nèi)側(cè)下半部設(shè)置有加熱室、上半部設(shè)置有沉積室，且加熱室與沉積室之間通過通道保持連通，所述爐體的頂部通口處設(shè)置有對開式的密封蓋，在兩邊的密封蓋的底部對應(yīng)位置處分別鉸接有活動臂，活動臂的下端均通過連接桿連接有框架，框架沿沉積室的內(nèi)壁上下滑動，框架內(nèi)轉(zhuǎn)動連接有安裝板，安裝板的板面上設(shè)置有吸附晶圓片用的吸盤，本實用新型解決了氣相沉積后的晶圓不方便拿取的問題，本沉積爐的提出，可升降式的框架方便，配合設(shè)置在框架內(nèi)側(cè)可旋轉(zhuǎn)的安裝板設(shè)計可以方便人們快速地放置或者拿取晶圓，操作便捷，有利于提升工作效率。