本發(fā)明公開了一種疏松薄壁的氣敏元件及其制備方法,該氣敏元件包括具有疏松薄壁結(jié)構(gòu)的金屬氧化物氣敏
復(fù)合材料和基底;其中,氣敏復(fù)合材料為貴金屬摻雜的、均勻分布的納米顆粒。本發(fā)明制備該氣敏元件的方法包括:對模板進行預(yù)處理后,放入前驅(qū)液中進行三步浸漬;再依次經(jīng)過清洗、干燥、燒結(jié)處理,制得疏松薄壁結(jié)構(gòu)的金屬氧化物氣敏復(fù)合材料;最后將其涂覆于基底表面,并進行老化處理,制得具有疏松薄壁結(jié)構(gòu)的金屬氧化物氣敏元件。本發(fā)明還公開了一種制備疏松薄壁的氣敏元件的方法,其工藝簡單,通過改變復(fù)合物的種類、調(diào)控納米顆粒的尺寸、選擇不同的模板來獲得具有優(yōu)良性能的氣敏元件,制得的疏松薄壁氣敏元件能對待測氣體表現(xiàn)出高的靈敏度。
聲明:
“疏松薄壁氣敏元件及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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