本實用新型提供了一種化學氣相沉積裝置，包括：化學氣相沉積室，氣體供給系統(tǒng)；反應氣體導流裝置，與氣體供給系統(tǒng)和化學氣相沉積室分別連通；包括導氣管，所述導氣管包括進氣導管和出氣導管；所述出氣導管位于樣品放置室中，所述出氣導管沿氣流方向的末端封閉，管壁上設置導氣孔；等離子體發(fā)生器和/或加熱裝置；真空系統(tǒng)，與化學氣相沉積室連通。所述化學氣相沉積裝置能夠很好的將反應氣均勻的擴散到樣品上，提高復合材料的均勻性，同時有效提升反應氣的利用率，有利于提高生產(chǎn)效率、降低成本，利用其制備得到的包覆硅的碳顆粒復合材料具有高容量、高首次效率及長壽命等特點。