一種等離子氣相反應(yīng)合成氮化硅粉體及其復合粉體材料的方法，解決了現(xiàn)有的氮化硅粉體制備中固相反應(yīng)所合成的粉體粒徑大、顆粒大小不勻、純度低，分散性不好等問題，同時也解決一般氣相合成中所存在的能量利用率及產(chǎn)率過低，工藝過程不易控制以及生成的超細粉易團聚等問題。本發(fā)明采用一定化學計量比的SiCl4或SiH4和N2或NH3和乙烯氣體為反應(yīng)氣體，Ar氣作為載氣，將幾種氣體按照一定比例通過等離子炬，在2-50kW的功率下，制備氮化硅粉體材料及其復合材料。本發(fā)明可以在等離子條件下、短時間內(nèi)合成高純度的氮化硅粉體及其復合粉體材料。采用本發(fā)明獲得的粉體材料具有超細、高純及分散性好等特點。