本發(fā)明提供一種分流式CVD沉積室,涉及
復(fù)合材料制備的技術(shù)領(lǐng)域,包括沉積筒和進(jìn)氣室,沉積筒內(nèi)設(shè)有隔板,隔板將沉積筒分為上腔室和下腔室;上腔室包括第二固定筒,第二固定筒的底部與隔板之間連接;下腔室包括引流筒和第一固定筒,第一固定筒的另一端與隔板之間留有氣體流通的第一通道,引流筒的另一端與下腔室底部之間留有氣體流通的第二通道;進(jìn)氣室內(nèi)設(shè)有進(jìn)氣管,沉積筒內(nèi)設(shè)有與進(jìn)氣管連接的輸氣組件,輸氣組件包括上排氣室、主氣室、從氣管和引流管,上排氣室置于上腔室內(nèi),主氣室和從氣管設(shè)于下腔室內(nèi),引流管的底部和從氣管設(shè)于主氣室的上部,且均與主氣室連通,引流管的頂部還與上排氣室連通,上排氣室和從氣管上均設(shè)有排氣孔。
聲明:
“分流式CVD沉積室” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)