本發(fā)明公開了一種具有室溫鐵磁性的鈮酸鋰薄膜及其制備方法。所述鈮酸鋰薄膜中摻雜Co、Mn、V、Cr和Fe中至少一種元素。本發(fā)明提供的鈮酸鋰薄膜的制備方法,包括如下步驟:采用離子注入法向鈮酸鋰基底中注入Co、Mn、V、Cr和Fe中至少一種元素;所述注入采用至少三種不同的注入能量。由于離子注入的過程中的摻雜離子在基體中分布的濃度內(nèi)外差別比較大,不利于獲得摻雜均勻的材料。
聲明:
“具有室溫鐵磁性的鈮酸鋰薄膜及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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