本發(fā)明公開了一種納米氧化亞鎳-鎳硅合金鋰離子電池負(fù)極材料制備方法，屬于鋰離子電池電極材料制備技術(shù)領(lǐng)域。該鋰電池負(fù)極材料特征為具有高度有序微納米硅微通道襯底、具有良好導(dǎo)電NiSi層電荷收集層、NiO納米活性層具有大比表面積以及電極有序孔道利于電解質(zhì)溶液浸入。其制備方法與傳統(tǒng)集成電路制造工藝高度兼容，主要包含光誘導(dǎo)低溫電化學(xué)脈沖電壓濕法刻蝕加工高度有序硅微通道襯底、無電鍍沉積金屬鎳和快速熱退火氧化三個主要工序合成。這種高度有序三維微納米孔洞NiO/Si-MCP(氧化亞鎳/硅微通道)負(fù)極材料對電解質(zhì)浸透、電荷輸運(yùn)和鋰離子的嵌入與脫嵌有良好的物理和電化學(xué)支持，可用于制備可集成的鋰離子電池極板材料。