一種用于鋰或鋰離子電池的鋰磷氧氮硫化合物 電解質(zhì)薄膜，其組分可用分子式LiwPOxNySz表示，其中2x+3y+2z＝5+w，且w約等于3，最能優(yōu)化離子電導(dǎo)率的硫/磷(S/P)比例在0到0.15之間。制作時將Li3PO4粉末與Li2SO4或Li2S粉末混合形成噴鍍陰極靶，在純氮氣(N2)中對所述陰極靶進行噴鍍。這種鋰磷氧氮硫化合物電解質(zhì)薄膜應(yīng)用于鋰或鋰離子電池中，可增加其離子電導(dǎo)率，并具有良好的電化學(xué)穩(wěn)定性。