本發(fā)明提供一種新的高介電材料氮化的Li3PO4薄膜，簡稱鋰磷氧氮(LiPON)，它具有介電性能，其介電常數(shù)在14～26之間。本發(fā)明對Al/Liipon/Si電容器的電容－電壓(C－V)和電容－電流(I－V)的特性進行了測量。結(jié)果表明：Lipon薄膜是一個高的介電材料，漏電流在電場強度為107V/m時低于～10－6A/cm2，慢界面態(tài)密度在～1012cm－2，在硅禁代中央處的界面態(tài)密度估計為～1011eV－1cm－2。Al/Lipon/Al結(jié)構(gòu)的等溫瞬態(tài)離子流測量的結(jié)果顯示了Lipon薄膜有很明顯的極化。