本發(fā)明公開了一種基于薄膜鈮酸鋰波導(dǎo)的不等臂馬赫?曾德爾干涉儀，用于解決量子密鑰系統(tǒng)中隨著成碼率需求越來越大，不等臂光纖延時(shí)越來越小而無法通過光纖熔接的方式實(shí)現(xiàn)的問題。將量子密鑰分發(fā)系統(tǒng)中的馬赫?曾德爾調(diào)制器、不等臂干涉環(huán)在集成波導(dǎo)上實(shí)現(xiàn)。包括Y分支分束器、Y分支合束器，下參考臂波導(dǎo)、上左延時(shí)波導(dǎo)，上右延時(shí)波導(dǎo)、相位調(diào)制區(qū)。上左延時(shí)波導(dǎo)和上右延時(shí)波導(dǎo)結(jié)構(gòu)相同，且空間位置對(duì)稱。當(dāng)一束脈沖信號(hào)通過Y分支分束器，被分成了上下兩路信號(hào)。下路信號(hào)經(jīng)過Y分支分束器下臂直接到達(dá)Y分支合束器的下臂。另一路信號(hào)經(jīng)過一段延時(shí)調(diào)制之后進(jìn)入到Y(jié)分支分束器的上臂。兩路光信號(hào)相互干涉，使特定的頻率信號(hào)增強(qiáng)，相反則使得特定的頻率信號(hào)相消。通過調(diào)節(jié)偏置電壓，可以實(shí)現(xiàn)干涉相位精細(xì)可調(diào)，從而改變光傳感、通信系統(tǒng)的性能，有利于提升量子密鑰分發(fā)系統(tǒng)的成碼率和小型化發(fā)展。