本實(shí)用新型公開(kāi)了一種雙MOS的MOSFET結(jié)構(gòu)包括自下而上依次設(shè)置的襯底、外延層、外延層表面注入雜質(zhì)形成的溝道區(qū)以及鈍化層,所述溝道區(qū)和外延層內(nèi)設(shè)有填充有
多晶硅的溝槽,所述鈍化層內(nèi)淀積有形成第一MOS單元的源極和柵極的第一頂層金屬和第二MOS單元的源極和柵極的第二頂層金屬。本實(shí)用新型將第一MOS單元和第二MOS單元集成在同一MOSFET結(jié)構(gòu)中,節(jié)省了
芯片版圖設(shè)計(jì)時(shí)中間劃片槽的面積,從而減小了芯片整體的面積,降低了芯片成本。
聲明:
“雙MOS的MOSFET結(jié)構(gòu)及鋰電池保護(hù)模塊” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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