本發(fā)明涉及一種易制備的可用做微電子材料的吡唑基Ge（Ⅱ）化合物，采用以下方法制備：（1）將吡唑或其衍生物溶解在反應(yīng)溶劑中，在-78～0℃攪拌條件下加入烷基鋰溶液中，吡唑或其衍生物與烷基鋰的摩爾比為1:1～1.2；恢復(fù)到室溫后繼續(xù)攪拌反應(yīng)，得到反應(yīng)混合物；（2）將步驟（1）得到的反應(yīng)混合物過濾，得到鋰鹽固體，將鋰鹽固體與甲苯混合，得到鋰鹽的甲苯溶液；（3）在-78～0℃按照鋰鹽與二氯化鍺摩爾比2:1～1.1，將鋰鹽的甲苯溶液滴加到二氯化鍺的甲苯溶液中，升溫至室溫；（4）將步驟（3）得到的反應(yīng)混合物進(jìn)行過濾，所得濾渣進(jìn)行低溫結(jié)晶，得到所述的吡唑基Ge（Ⅱ）化合物。本發(fā)明合成方法簡(jiǎn)便、合成條件溫和，具有良好的成膜性能。