基礎金屬	銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材
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絕緣膜成膜用原料及使用該原料的成膜方法

762 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 23:02:45

本發(fā)明提供用旋轉噴涂法、噴霧沉積法或CVD法在各種基板的表面形成高質量、高純度的含有鋰的絕緣膜或者含有硅酸鋰的絕緣膜的絕緣膜成膜用原料及使用該原料的成膜方法。本發(fā)明的絕緣膜成膜用原料由鋰的烷氧基化合物和、從醚、酮、酯、醇或烴選出的1種以上的有機溶劑組成,或者由鋰的烷氧基化合物或鋰的羧酸鹽、四甲氧基硅烷或者四乙氧基硅烷及有機溶劑組成,本發(fā)明的成膜方法是使用這些原料進行成膜的。

聲明：

“絕緣膜成膜用原料及使用該原料的成膜方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)