本發(fā)明公開了一種混合集成型片上光頻梳，包括依次相鄰的硅基底、二氧化硅襯底和薄膜鈮酸鋰，薄膜鈮酸鋰上異質(zhì)集成一層氮化硅波導(dǎo)；氮化硅波導(dǎo)包括橫跨薄膜鈮酸鋰上表面的氮化硅直波導(dǎo)，以及位于氮化硅直波導(dǎo)一側(cè)的氮化硅微環(huán)；氮化硅微環(huán)下方的薄膜鈮酸鋰為圓周極化薄膜鈮酸鋰。本發(fā)明的片上光頻梳結(jié)合了周期極化鈮酸鋰與氮化硅波導(dǎo)的優(yōu)良特性，避免了直接刻蝕鈮酸鋰的工藝要求，能夠利用鈮酸鋰的高效非線性，簡化工藝的同時保證了器件效能；圓周極化薄膜鈮酸鋰引入的準相位匹配與氮化硅波導(dǎo)的尺寸設(shè)計引入的色散波匹配技術(shù)相結(jié)合，使得對泵浦波的頻率要求突破了單頻率的限制，實現(xiàn)可調(diào)諧自由光譜范圍的微環(huán)。