本發(fā)明能夠抑制采用卷取式在膜上形成鋰層時(shí)對(duì)膜的熱損傷。卷取式成膜裝置具有真空容器、膜行進(jìn)機(jī)構(gòu)、鋰源以及第一輥。上述真空容器能夠維持減壓狀態(tài)。上述膜行進(jìn)機(jī)構(gòu)能夠在上述真空容器內(nèi)使膜行進(jìn)。上述鋰源能夠在上述真空容器內(nèi)對(duì)鋰進(jìn)行熔融。上述第一輥配置在上述膜的成膜面與上述鋰源之間。上述第一輥具有從上述鋰源接收熔融的上述鋰的轉(zhuǎn)印圖案。上述第一輥一邊旋轉(zhuǎn)一邊將與上述轉(zhuǎn)印圖案對(duì)應(yīng)的鋰層的圖案轉(zhuǎn)印到上述成膜面。
聲明:
“卷取式成膜裝置及卷取式成膜方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)