本發(fā)明提供一種收卷式成膜裝置,其具有真空容器、膜行進(jìn)機(jī)構(gòu)、鋰源以及第一輥。上述真空容器能夠維持減壓狀態(tài)。上述膜行進(jìn)機(jī)構(gòu)能夠在上述真空容器內(nèi)使膜行進(jìn)。上述鋰源能夠在上述真空容器內(nèi)使鋰蒸發(fā)。上述第一輥被配置在上述膜的成膜面和上述鋰源之間。上述第一輥具有接收從上述鋰源蒸發(fā)的上述鋰的轉(zhuǎn)印圖案。上述第一輥一邊旋轉(zhuǎn)一邊將與上述轉(zhuǎn)印圖案對(duì)應(yīng)的鋰層的圖案轉(zhuǎn)印到上述成膜面。
聲明:
“收卷式成膜裝置和收卷式成膜方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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