本發(fā)明公開一系列酰胺類稀土金屬鑭配合物的合成方法是在惰性氣體N2或者Ar2保護下,等摩爾量的酰胺配體與正丁基鋰在-78℃～0℃下,反應1～5小時,反應得到酰胺鋰鹽;三氯化鑭和酰胺鋰(物質(zhì)的量比為1∶3)在無水有機溶劑中,反應12～70小時后,將得到的澄清溶液抽干,經(jīng)有機低極性溶劑萃取,過濾,濾液濃縮,冷凍結晶得到配合物。該類配合物具有揮發(fā)性好,活性高,合成簡單,產(chǎn)率高,成本低等優(yōu)點,可以作為前驅(qū)體制備得到的高K材料薄膜致密和均勻,顆粒在30nm-40nm之間。