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壓電性材料基板與支撐基板的接合體以及彈性波元件

676   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 23:11:38
在將由鈮酸鋰等形成的壓電性材料基板與設置有氧化硅層的支撐基板接合時,提高接合體的特性。接合體(8、8A)具備:支撐基板(3);壓電性材料基板(1、1A),其由選自由鈮酸鋰、鉭酸鋰和鈮酸鋰?鉭酸鋰組成的組中的材質形成;以及接合層(7),其將支撐基板和壓電性材料基板接合。接合層(7)的材質為氧化硅。在將接合層(7)分為壓電性材料基板側接合部(7a)和支撐基板側接合部(7b)時,壓電性材料基板側接合部(7a)中的氮濃度高于支撐基板側接合部(7b)中的氮濃度。
聲明:
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