本發(fā)明提出一種用作鋰離子電池陽(yáng)極材料的新型過(guò)渡金屬氮化物Co3N，F(xiàn)e3N，Ni3N薄膜。該薄膜材料可在氮?dú)夥罩薪?jīng)脈沖激光反應(yīng)性沉積制備獲得。其粒子尺寸為20～50nm，呈多晶立方結(jié)構(gòu)。上述薄膜做成的電極，分別與金屬鋰組成電池后，其放電平臺(tái)出現(xiàn)在0.64V，0.70V，和0.92V左右(相對(duì)于Li/Li+)。在電壓范圍3.50－0.01V和電流密度7μA/cm2時(shí)，都具有良好的充放電循環(huán)可逆性，比容量保持在420，440，和420mAh/g左右。循環(huán)80次后的可逆容量損失僅小于5％左右。比目前使用的各種薄膜陽(yáng)極材料更具優(yōu)越性。