提供了一種全固態(tài)鋰基薄膜電池。全固態(tài)鋰基薄膜電池包括電池材料堆，該電池材料堆從下至上包括陽極側(cè)電極、陽極區(qū)域、氧化鋁界面層、固態(tài)電解質(zhì)層、陰極層、以及陰極側(cè)電極層。通過首先形成電池堆的陽極側(cè)，然后形成陰極側(cè)，來形成全固態(tài)鋰基薄膜電池堆。包括位于陽極區(qū)域和固態(tài)電解質(zhì)層之間的氧化鋁界面層的全固態(tài)鋰基薄膜電池均具有改善的性能、高容量和高可靠性。