本發(fā)明提供一種得到抑制裝置的腐蝕、并且抑制冷卻中的由基底基板對(duì)III族氮化物單晶的應(yīng)力的III族氮化物單晶的III族氮化物結(jié)晶的制造方法。一種III族氮化物結(jié)晶的制造方法，其包括：(i)準(zhǔn)備將藍(lán)寶石作為基底基板且在所述基底基板上設(shè)置有III族氮化物層的種基板的工序；(ii)在由鉭構(gòu)成的盛具中準(zhǔn)備鋰或鋰化合物的工序；(iii)使用III族元素與堿金屬的混合熔液，使III族氮化物結(jié)晶生長(zhǎng)于設(shè)置于種基板的III族氮化物層的工序；和(iv)將鋰或鋰化合物投入混合熔液，使其與基底基板反應(yīng)的工序。