本實(shí)用新型公開了一種高速光調(diào)制器,包括:鈮酸鋰基底晶片、形成于鈮酸鋰基底晶片表面的脊形結(jié)構(gòu)、形成于基底晶片的表面且部分形成于脊形結(jié)構(gòu)中的光波導(dǎo)以及形成于鈮酸鋰基底晶片表面、脊形結(jié)構(gòu)的兩側(cè)的溝槽、放置于鈮酸鋰基底晶片的表面的緩沖層薄膜、放置于緩沖層薄膜上方金屬電極;本實(shí)用新型的有益效果在于:本實(shí)用新型提出的高速光調(diào)制器結(jié)構(gòu)具有更低的微波有效折射率、更高的電極阻抗和更高的電光調(diào)制效率,采用更小的電極間距和更薄的緩沖層薄膜,不僅可以實(shí)現(xiàn)高調(diào)制帶寬,還有利于實(shí)現(xiàn)半波電壓的降低。
聲明:
“高速光調(diào)制器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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