本發(fā)明提出一種采用超薄壓電單晶體制作的薄膜體聲波諧振器，包括具有地室的高阻襯底、由上金屬電極和下金屬電極夾持壓電體組成的三明治有源結(jié)構(gòu)，三明治有源結(jié)構(gòu)設(shè)置于高阻襯底上端；所述壓電體為超薄壓電單晶體，地室內(nèi)設(shè)有若干根支柱。超薄壓電單晶體所用的壓電單晶體，為所有可實(shí)用化的壓電單晶體，如石英、鉭酸鋰、鈮酸鋰、四硼酸鋰、鍺酸鉍、硅酸鉍、硅酸鎵鑭系列、正磷酸鋁和鈮酸鉀。所用的高阻襯底，為硅、石英、碳化硅、三氧化二鋁、藍(lán)寶石、金剛石等微電子技術(shù)常用襯底材料。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)有：超薄壓電單晶體，晶體完整性未被破壞，為完美單晶；可以自由選擇晶體及其晶向，優(yōu)化器件性能；超薄壓電單晶體生產(chǎn)技術(shù)前景明朗。