本發(fā)明公開一系列官能化烷氧基稀土金屬鑭配合物的合成方法是在惰性氣體N2或者Ar保護下,等摩爾量官能化烷氧基的配體與正丁基鋰在-50℃-0℃下反應2-4小時,反應得到官能化烷氧基鋰鹽;三氯化鑭和官能化烷氧基鋰(物質(zhì)的量比為1:3)在無水有機溶劑中,反應48-72小時后,將得到的澄清溶液抽干,經(jīng)有機低極性溶劑萃取,過濾,濾液濃縮,冷凍結(jié)晶得到配合物。該類配合物具有揮發(fā)性好,活性高,合成簡單,產(chǎn)率高,成本低等優(yōu)點,可以作為ALD前驅(qū)體制備得到致密和均勻的高K材料薄膜,薄膜厚度為4.2nm。