本發(fā)明涉及集成光學光波導制作領域，具體的講是涉及一種高溫質子交換的LiNbO3光波導制造方法，該方法在鈮酸鋰基片上制作無相變的波導，制作出的波導主要適用于光纖陀螺的多功能芯片，該波導制造方法依次完成熔料工序、質子交換工序、退火工序和反質子交換工序，其特征在于該方法的質子交換工序是在350℃±3℃的溫度狀態(tài)下進行的，其特點是：波導由純粹HxLi1－xNbO3的α相構成，結構均勻、簡單，波導的穩(wěn)定性好，并且提高了成品率，降低了溫度差異對基片的沖擊，避免了對環(huán)境的污染，降低了器件的損耗，降低了生產成本。