本發(fā)明涉及一種精三氯氫硅的生產(chǎn)方法,包括(1)在工業(yè)級三氯氫硅精餾工段增加預(yù)塔裝置;(2)在預(yù)塔前增加加熱器對加料進行預(yù)熱;(3)預(yù)塔、三氯氫硅塔、四氯化硅塔內(nèi)部采用填料和塔板復(fù)合的形式;(4)四氯化硅可來自四氯化硅塔下部的氣相側(cè)采;(5)三氯氫硅塔和四氯化硅塔可集成為一個塔或者采用雙效精餾方法;(6)在冷卻工段中除塵器之后冷凝器前增加洗滌塔裝置;(7)對于洗滌塔采用底溫余熱驅(qū)動溴化鋰機組產(chǎn)生冷水供冷卻使用;(8)對合成熱進行熱集成和節(jié)能利用;(9)在三氯氫硅進行超純精餾和精制過程中采用3～8個精餾塔和吸附塔或者絡(luò)合精餾塔裝置。本發(fā)明有投資低、能耗低且目標產(chǎn)物三氯氫硅的分離純度高等優(yōu)點。