本申請公開了一種半導(dǎo)體廢水處理設(shè)備及其處理工藝，屬于廢水處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，其包括壓濾機、第一出料管以及回水裝置，第一出料管沿豎直方向開設(shè)有插孔，插孔內(nèi)插接有廢料盒，廢料盒遠(yuǎn)離壓濾機的一側(cè)開設(shè)有多個過濾孔，插孔的一側(cè)內(nèi)壁開設(shè)有儲存槽；儲存槽內(nèi)設(shè)有限位塊以及復(fù)位彈簧，限位塊滑移于儲存槽，限位塊上設(shè)有第一斜面，復(fù)位彈簧的一端固定連接于限位塊，復(fù)位彈簧的另一端固定連接于儲存槽的內(nèi)壁，廢料盒上開設(shè)有限位槽；第一出料管內(nèi)設(shè)有第一驅(qū)動組件；第一出料管的側(cè)壁開設(shè)有通孔。本申請具有能夠減少廢水中的濾渣通過回水裝置進(jìn)入到廢液收集池內(nèi)的可能性，從而能夠降低回水裝置中的水泵發(fā)生損壞的可能性。