本發(fā)明涉及一種PVT法中碳化硅粉源的回收方法，屬于晶體生長原料回收技術(shù)領(lǐng)域。為解決現(xiàn)有PVT法中碳化硅粉源無法回收再利用的問題，本發(fā)明提供了一種PVT法中碳化硅粉源的回收方法，首先通過靜電分離將PVT法碳化硅晶體生長過程中產(chǎn)生的固體混合物廢料中的富碳粉和石墨顆粒分離，向所得富碳粉中加入硅粉，反應(yīng)得到碳化硅粉。與原有未經(jīng)PVT法生長使用的碳化硅粉末比較，雜質(zhì)含量幾乎沒有區(qū)別，甚至回收所得碳化硅粉的部分雜質(zhì)含量更低，實(shí)現(xiàn)了碳化硅粉源的回收。本發(fā)明通過PVT法中碳化硅粉源的回收再利用降低了碳化硅晶體生長的原料成本，而分離出的石墨顆粒經(jīng)過處理可作為碳化硅粉制備的原料，實(shí)現(xiàn)了分類回收利用。