本發(fā)明提供了一種砷納米顆粒及其制備方法、電解制砷烷的系統(tǒng)和方法。該制備方法包括：步驟S1，在密閉容器內(nèi)，在真空條件下加熱使砷單質(zhì)升華，形成等離子狀態(tài)的砷蒸氣；步驟S2，向密閉容器內(nèi)充入惰性氣體或氮?dú)猓姑荛]容器內(nèi)壓力升高；步驟S3，使砷蒸氣與密閉容器內(nèi)的冷卻裝置接觸，砷蒸氣凝結(jié)形成砷納米顆粒。上述制備方法利用金屬蒸氣原子在高溫下與氣體原子發(fā)生碰撞而失去能量凝聚形成納米尺寸的團(tuán)簇并在驟冷條件下聚集起來形成納米級(jí)別的砷納米顆粒。所得到的砷納米顆粒表面具有的不飽和性以及氫離子的高反應(yīng)活性，應(yīng)用于電解制砷烷時(shí)不需要配置大量的陰極電解液，進(jìn)而降低了含砷廢液的產(chǎn)生，從而實(shí)現(xiàn)了降低危廢物的產(chǎn)生。