本發(fā)明涉及半導體材料,具體地說是一種生產超細、超純硅粉的方法。該硅粉的主要成分為:二氧化硅大于99.96%,鐵小于0.003%,硅粉顆粒的直徑小于1微米,在硅粉顆粒的外表面包覆有硅烷耦聯(lián)劑。這種超純、超細硅粉的制作方法包括:a.材料預處理;b.焙燒及煅燒;c.研磨:經過冷卻后的礦石進入柱磨機內研磨成325目的硅粉;d.篩分及磁選:將上述硅粉在篩分機上篩選,小于325目的硅粉再進入磁選機內進行磁選,以除去硅粉中的磁性物質;e.化學提純:將除去磁性物質的硅粉放入反應容器內,與混合有稀氫氟酸與稀鹽酸的稀酸溶液發(fā)生反應;f.干燥;g.超音速氣流粉碎與改性。這種方法有效降低生產成本、提高硅粉的品質。