本發(fā)明涉及分析化學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了鹽酸和三氯化鐵系ITO蝕刻液組成的檢測(cè)方法，包括以下步驟：S1、鹽酸含量測(cè)定：S11、以有弱堿為介質(zhì)，無(wú)水短鏈醇為溶劑，配制濃度為0.5?1.0mol/L的有機(jī)堿?醇溶液為滴定劑；S12、將滴定劑配制完成后震蕩混勻20min，靜置12h后再震蕩充分混勻；本發(fā)明對(duì)鹽酸和三氯化鐵系ITO蝕刻液中兩種主組分分別定量，主組分中的鹽酸和三氯化鐵檢測(cè)分別采用非水溶劑的動(dòng)態(tài)DET?U滴定方法及電感耦合等離子發(fā)射光譜(ICP?OES)方法進(jìn)行定量，能夠精確地測(cè)量出ITO蝕刻液中鹽酸的含量，可以滿足ITO蝕刻液在線實(shí)時(shí)取樣的滴定分析，檢測(cè)速度快，一步完成，無(wú)前處理，能實(shí)時(shí)反饋鹽酸濃度，能夠滿足在線檢測(cè)和控制要求。