一種質(zhì)量傳感器(30),其中一個(gè)連接片(33)和一個(gè)膜片(31)在它們相應(yīng)的側(cè)面連接的一起;一個(gè)傳感片( 32)在其相應(yīng)的側(cè)面沿與膜片(31)與連接片(33)連接方向垂直的方向相連;在傳感片(32)的至少一個(gè)片表面上安裝有由一個(gè)壓電膜和一個(gè)電極構(gòu)成的一個(gè)壓電元件(35);由膜片(31)、傳感片(32)、連接片(33)、和壓電元件(35)組成的一個(gè)共振部分與一個(gè)傳感器基體(34)相連。通過測(cè)量共振部分的共振頻率隨膜片(31)質(zhì)量變化而產(chǎn)生的變化可以測(cè)量出膜片(31)質(zhì)量的變化。本發(fā)明的質(zhì)量傳感器能夠容易并且準(zhǔn)確地測(cè)量毫微克量級(jí)的微小質(zhì)量,包括微生物例如細(xì)菌和病毒、化學(xué)物質(zhì),以及蒸氣沉積膜的厚度。