本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種光檢波微納真空三極管，包括：微型熱陽(yáng)極板、微型熱陰極板、柵極材料層和導(dǎo)電薄膜，所述微型熱陰極板和微型熱陽(yáng)極板之間刻蝕有導(dǎo)電薄膜，所述導(dǎo)電薄膜上部通過(guò)化學(xué)氣相沉積有真空溝道，所述真空溝道的上部覆蓋有氧化物混合材料，所述微型熱陰極板和微型熱陽(yáng)極板均包含一對(duì)由Au/Cr組成的金屬電極，所述金屬電極之間電性連接有石墨烯材料板，所述石墨烯材料板的下部刻蝕有二氧化硅材料層，采用納米縫隙真空溝道實(shí)現(xiàn)電子的傳輸，兼具了真空管和半導(dǎo)體晶體管的優(yōu)點(diǎn)，柵極具有調(diào)制作用，優(yōu)化了器件特性，具有工作電壓低、響應(yīng)時(shí)間短、發(fā)射電流可大幅度調(diào)制、可控性好等特點(diǎn)。