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基于雙模光波導(dǎo)的干涉儀和傳感器以及感測(cè)方法

1021   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:27:46
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于雙模光波導(dǎo)的干涉儀和傳感器以及感測(cè)方法。平面光波導(dǎo)干涉儀(15,25,35,45),包括:襯底(8,28,38,48);包括沉積在所述襯底(8,28,38,48)上的至少一個(gè)層(1,2,3)的雙模波導(dǎo)(10,20,20’,30,40),所述雙模波導(dǎo)(10,20,20’,30,40)被設(shè)計(jì)為支持零階和一階橫向傳播模式,所述橫向傳播模式具有不同的色散;位于所述雙模波導(dǎo)(10,20,20’,30,40)的上側(cè)的特定區(qū)域中的傳感器片(21,31,41,51),所述傳感器片(21,31,41,51)被設(shè)計(jì)用于接收化學(xué)、生物或物理輸入刺激物,所述刺激物能夠改變所述雙模波導(dǎo)(10,20,20’,30,40)的有效折射率。所述雙模波導(dǎo)(10,20,20’,30,40)包括被設(shè)計(jì)用于在側(cè)向限制光的限制裝置(9),從而雙模波導(dǎo)(10,20,20’,30,40)被設(shè)計(jì)用于支持一個(gè)側(cè)向模式。提供了包括平面光波導(dǎo)干涉儀的芯片、傳感器和感測(cè)方法。
聲明:
“基于雙模光波導(dǎo)的干涉儀和傳感器以及感測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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