一種雙峰諧振鍍膜光纖光柵氣敏傳感器的制造方法,涉及氣敏傳感器的制造技術(shù)領(lǐng)域;所要解決的是小型化、高集成、可遙測(cè)、高靈敏的氣敏傳感器的制造技術(shù)問(wèn)題;該氣敏傳感器的制造方法包括如下步驟:1)選擇光纖光柵;2)確定鍍膜厚度;3)確定雙峰中心波長(zhǎng);4)光纖光柵包層涂膜;5)傳感頭制作;6)雙峰信號(hào)檢測(cè)。本發(fā)明提供了一種小型化、高集成、可遙測(cè)的高靈敏鍍膜光纖光柵氣敏傳感器的制造方法,有效利用了光纖光柵雙峰諧振效應(yīng),應(yīng)用這種方法所制造的傳感器,對(duì)檢測(cè)氣體具有很高的靈敏度,對(duì)膜層折射率的測(cè)量分辨率可高達(dá)10-7;由于它集中了薄膜傳感器和光纖光柵傳感器的優(yōu)點(diǎn),有望在光化學(xué)傳感器中得到廣泛的應(yīng)用。
聲明:
“雙峰諧振鍍膜光纖光柵氣敏傳感器的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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