一種基于(111)硅的微機械加速度傳感器及其制造方法,該傳感器是由一片(111)單晶硅基板和上、下基板各一片構(gòu)成,(111)硅基板上的慣性質(zhì)量塊是由同一基板上的至少一對彈性懸梁連接到固定邊框,在外來加速度作用下可作垂直于基板表面方向的運動,并引起其與上、下基板上的平板電極間的電容發(fā)生變化,以檢測外來加速度。所述彈性懸梁相對于(111)硅基板為上下對稱,其制造和尺度控制是由硅化學(xué)各向異性腐蝕和高深寬比干法刻蝕工藝組合實現(xiàn)的,(111)硅基板與上基板、下基板通過對準(zhǔn)鍵合連接。該傳感器實現(xiàn)閉環(huán)檢測,具有結(jié)構(gòu)對稱性好、工藝可控性好、檢測精度高、易于多軸集成等特點,應(yīng)用于石油地震勘探等領(lǐng)域。