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半導(dǎo)體傳感器以及用于電鍍半導(dǎo)體器件的方法

793   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:33:27
一種電鍍半導(dǎo)體晶片同時(shí)維持所鍍薄膜厚度均勻的方法,防止在晶片背面淀積并且防止在后續(xù)步驟中污染。在半導(dǎo)體晶片的鋁電極上間接形成連接端子,在晶片背面由絕緣體覆蓋的情況下進(jìn)行非電解地電鍍。優(yōu)選的是,所述絕緣體是作為構(gòu)成產(chǎn)品一部分的玻璃襯底。半導(dǎo)體型傳感器展現(xiàn)了對(duì)腐蝕介質(zhì)提高了的耐腐蝕性。在半導(dǎo)體襯底上,所述半導(dǎo)體型傳感器具有用于檢測(cè)腐蝕介質(zhì)的物理量或者化學(xué)成分的結(jié)構(gòu)部分以及電量轉(zhuǎn)換元件,并且具有多個(gè)焊點(diǎn),所述焊點(diǎn)是用于向外部單元發(fā)送檢測(cè)到的電信號(hào)的輸出端子,其中所述焊點(diǎn)利用貴重金屬保護(hù)。
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