一種微型原子氣室封裝設(shè)備及工藝技術(shù)方法,包括:樣品室、壓力桿、樣片、樣品臺、加熱絲與測溫探頭、真空泵連接口、充氣進口、直流高壓電源、電壓表、電阻和其它測控裝置,包括步驟1材料的選取,步驟2材料的加工,步驟3樣片的清洗,步驟4第一面鍵合,步驟5第二面鍵合,步驟6樣品檢測,將采用原位化學(xué)反應(yīng)法生成的金屬銣封閉在微型氣室中的方法。本發(fā)明的有益效果具體如下:本發(fā)明涉及的專用設(shè)備是基于陽極鍵合技術(shù)原理的,采用了相對廉價的機械泵—分子泵抽氣機組的普通高真空系統(tǒng),同時用惰性氣體對真空系統(tǒng)反復(fù)充氣“清洗”以及對樣片局部進行高溫烘烤除氣等措施來盡可能地減輕殘余氣體和吸附氣體的影響,特別是減輕銣的氧化問題。